Rapidus、IIM-1にて2nmノード GAAトランジスタの動作を確認

Rapidus株式会社（本社：東京都千代田区麹町4丁目1番地、代表取締役社長兼CEO：小池淳義）は本日、北海道千歳市で最先端半導体の開発および生産を行う「IIM*-1」において、2nm GAA（ゲートオールアラウンド）トランジスタの試作を開始し、動作を確認したと発表しました。
*IIM…Innovative Integration for Manufacturingの略語

Rapidusは、2023年9月1日にIIM-1起工式を執り行いました。2024年12月には、クリーンルームの環境が整い、世界中から最先端の半導体製造装置を集結させました。2nmプロセスのリソグラフィ工程では、EUV*露光装置を導入し、2024年12月の装置搬入から約3カ月後の2025年4月1日にパターンの露光・現像に成功しました。
*EUV…Extreme Ultraviolet（極端紫外線）の略語

IIM-1では、全ての製造工程において枚葉プロセスを導入し、新しい半導体ファウンドリーサービスRUMS（Rapid and Unified Manufacturing Service）の構築を進めています。2025年6月までに、200台以上の世界最先端の枚葉式半導体製造装置が、全く新しい搬送システムにより接続され、2nm GAAトランジスタの試作を開始し、動作を確認しました。これと併行してRapidusでは、IIM-1の2nmプロセスに対応したPDK（Process Development Kit）の開発を進め、今年度中に先行顧客向けにリリースし、顧客によるプロトタイピングが開始できる環境を整えます。

【Rapidus株式会社について】

Rapidus株式会社は、世界最先端のロジック半導体の開発、製造を目指す企業です。設計、ウェーハ工程、3Dパッケージなどのサイクルタイム短縮サービスの開発・提供によって、新産業創出を顧客と共に推進していきます。

半導体を通して人々を幸せに、豊かに、人生を充実したものにするために。私たちは、挑戦し続けます。

＜報道関係者の問い合わせ先＞

クレアブ株式会社
荒木美恵子
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八木美希
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